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產(chǎn)品分類 / PRODUCT

到貨!京都玉崎深圳倉庫到貨日本愛發(fā)科ULVAC真空計SP1

更新時間:2024-11-02      瀏覽次數(shù):69

到貨!京都玉崎深圳倉庫到貨日本愛發(fā)科ULVAC真空計SP1

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10月底到貨深圳倉庫后,京都玉崎倉庫負責(zé)人王工對其驗貨,核對數(shù)量及質(zhì)量問

題安排入庫,再安排人員檢驗合格后,均已符合出廠要求,已經(jīng)發(fā)往上海的客戶。


產(chǎn)品介紹:

傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計測量單元?!笢y定子和電路一體型(測定子可以更換)」結(jié)構(gòu),能夠降低成本和節(jié)省空間。

特點

  • 傳感器規(guī)格:如果不需要壓力指示器
    ?真空計成降低
    ?控制板空間節(jié)省
    ?配線簡化

  • 測定子更換更容易

  • 燈絲使用耐腐蝕材料鉑

  • 到目前為止使用的測量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用

  • 可以輸出2個設(shè)定點

  • SP1:壓力為0至5 V輸出(非線性輸出)

  • 電源電壓:24 VDC輸入

用途

  • 用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

  • 用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

  • 用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

規(guī)格

TypeSensor unit
ModelSP1
Compatible sensor headWP-01, WP-02, WP-03, WP-16

Accuracy


±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
Operating temperature range10 ~ 40℃
Measurement value outputNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitorNonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V)
Control output signalOpen collector output, Negative logic
ERROR signal
Setpoint 1/2
LED displayPower, error, set point 1, set point 2
Power supply voltageDC24V±2V, 90mA(Max.)
Input/Output connectorD-sub-15P(M2.6 screw)
Weight190g /0.41lb (Excluding sensor head)

Standard accessories

Input/Output connector 1pc
Quick manual 1pc


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郵箱:ylx@tamasaki.com
聯(lián)系人:袁蘭香

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